MEMS İvmeölçer (MEMS Accelerometer)

MEMS ivmeölçer, silikon üzerine üretilmiş minik bir yaylı kütlenin yer değiştirmesini kapasitif olarak ölçen algılayıcıdır. Duran bir cisimde ölçtüğü tek ivme yerçekimidir; eksen bileşenlerinin oranından eğim açısı hesaplanır. Terazileme sensörlerinin içindeki temel ölçüm elemanıdır.

Çipin içinde askıya alınmış bir kütle ve ona komşu sabit elektrotlar vardır. Kütle ivme altında yer değiştirince elektrotlar arasındaki kapasite değişir; bu değişim gerilime, sonra sayısal değere çevrilir. Cisim hareketsizken tek etki yerçekimi olduğundan, üç eksende okunan bileşenlerin oranı doğrudan eğim açısını verir.

Bu yüzden terazileme sistemleri ölçümü zaman içinde ortalar ve düzeltme kararını kararlı okumaya göre verir. Sahada gördüğünüz değer oynuyor durumu genelde arıza değil, gerçek hareketin ölçülmesidir. Karavanın içinde hareket etmeden, kapıları kapalı ve rüzgâr durgunken ölçüm alırsanız çok daha kararlı sonuç görürsünüz.

Bilgi Merkezi